高真空环境下完成锂原子沉积,均匀性更好,纯度与致密度更优
行业首创真空舱内离子钝化单元,可根据客户要求定制钝化层
独创热辊压加辐照单元,在补锂应用中促使补锂与硅碳充分结合
可选配镀前镀后锂电智能制造单元模块,适配前后道工序工艺优化
沉积过程锂的利用率≥85%
1. 双辊双面沉积卷绕
2. 卷绕过程自动纠偏系统
3. 设备内部环境自动监测系统
4. 便捷式快速更换蒸发单元
5. 断带自清洁单元
沉积前后阳离子预处理单元
沉积前后原子热加速单元
沉积前后阴极靶溅射单元
沉积后离子加速钝化单元
沉积后热辊压辐照单元
沉积前后锂电智造单元模块
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项目 |
参数 |
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机械速度 |
Max 50m/min |
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材料 |
铜箔/极片/高分子材料/三维集流体 |
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材料宽幅 |
100-1200mm |
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镀锂厚度 |
0-20μm |
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均匀性 |
±5% |
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收卷长度 |
Max 5000m |
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锂利用率 |
≥85% |
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工艺兼容性 |
陆续在式和多条幅式 |